SAMPLE OBSERVATION METHOD AND CHARGED PARTICLE BEAM APPARATUS

• Main Author: MORIKAWA AKINARI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.09.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

In order to provide an art of efficiently cooling a target area on a sample irrespective of a structure and a material of the sample, said target area being to be irradiated with charged particle beams, a substance (29), which has a high heat conductivity, and is liquid at a room temperature, is supplied to a target area (30) on a sample (3) or close to the target area, and the charged particle beams are radiated to the target area (30) after cooling (or coagulating) the substance (29) by means of a cooling member (20). L'invention a pour objet de réaliser un mode de refroidissement efficace d'une zone cible sur un échantillon indépendamment d'une structure et d'un matériau de l'échantillon, ladite zone cible étant destinée à être irradiée par des faisceaux de particules chargées. Une substance (29), qui possède une forte conductivité thermique et qui est liquide à température ambiante, est délivrée à une zone cible (30) sur un échantillon (3) ou à proximité de la zone cible, et les faisceaux de particules chargées sont émis vers la zone cible (30) après refroidissement (ou coagulation) de la substance (29) au moyen d'un élément de refroidissement (20). 試料の構造や材料によらず、荷電粒子線を照射する試料上の目的箇所を効率良く冷却できるようにする技術を提供する。このため、熱伝導率が高く常温時に液体である物質（２９）を、試料（３）上の目的箇所（３０）又はその近傍付近に供給し、冷却部材（２０）による物質（２９）の冷却後（又は凝固後）、荷電粒子線を目的箇所（３０）に照射する。