SCANNING PROBE MICROSCOPE AND SAMPLE MEASUREMENT METHOD USING SAME

• Main Authors: BABA SHUICHI, NAKATA TOSHIHIKO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.09.2015
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

The purpose of the present invention is to provide a scanning probe microscope that removes the influence of thermal drift and achieves high measurement reproducibility even during measurement over a long period of time and a sample measurement method using this scanning probe microscope. The present invention provides "a sample measurement method using a scanning probe microscope characterized in that a sample surface is scanned using a probe supported by a cantilever, the leading end of the probe supported by the cantilever is caused to generate near-field light by the irradiation of excitation light onto the cantilever, a scattered light detection system is used to detect scattered near-field light from the sample surface, and the position or angle of the irradiation of the excitation light onto the cantilever or the positional relationship between the leading end of the probe and the scattered light detection system is corrected." La présente invention vise à procurer un microscope à sonde de balayage qui élimine l'influence d'une dérive thermique et qui produit une reproductibilité de mesure élevée même pendant une mesure sur une longue période de temps et un procédé de mesure d'échantillon utilisant ce microscope à sonde de balayage. A cet effet, la présente invention porte sur un procédé de mesure d'échantillon, lequel procédé utilise un microscope à sonde de balayage, et lequel est caractérisé en ce qu'une surface d'échantillon est balayée à l'aide d'une sonde soutenue par un porte-à-faux, l'extrémité avant de la sonde soutenue par le porte-à-faux étant amenée à générer une lumière de champ proche par l'exposition du porte-à-faux à une lumière d'excitation, un système de détection de lumière dispersée étant utilisé pour détecter une lumière de champ proche dispersée à partir de la surface de l'échantillon, et la position ou l'angle de l'exposition du porte-à-faux à une lumière d'excitation ou la relation de position entre l'extrémité avant de la sonde et le système de détection de lumière dispersée étant corrigé. 　本発明は、長時間測定時においても熱ドリフトの影響を除去し、高い測定再現性を実現した走査プローブ顕微鏡及びこれを用いた試料測定方法を提供することを目的とする。　本発明は、「カンチレバーに支持された探針で試料表面を走査し、カンチレバーに励起光を照射することにより、前記カンチレバーに支持された探針の先端に近接場光を発生させ、散乱光検出系にて前記試料表面からの前記近接場光の散乱光を検出し、前記励起光の前記カンチレバーに対する照射位置、照射角度、または、前記探針の先端と前記散乱光検出系との相対位置関係を補正することを特徴とする走査プローブ顕微鏡を用いた試料測定方法」を提供する。