LASER DEVICE AND EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM

• Main Author: KUROSAWA, YOSHIAKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 13.08.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; X-RAY TECHNIQUE

The laser device in one perspective of the present disclosures may contain: an oscillator that outputs laser light; a slab-shaped light amplifier that amplifies and outputs the laser light output from the oscillator by means of causing same to pass through a slab-shaped light amplification region; and a mirror that is disposed on the light path of the laser light output from the slab-shaped light amplifier or the laser light input to the slab-shaped light amplifier, and that moves in a direction parallel to the laser progression front in the slab-shaped light amplifier. The laser device can correct light path changes in the slab-shaped light amplifier. Un mode de réalisation de la présente invention concerne un dispositif laser qui peut comprendre : un oscillateur qui émet de la lumière laser ; un amplificateur de lumière en forme de plaque qui amplifie et délivre la lumière laser en provenance de l'oscillateur en faisant passer celle-ci à travers une région d'amplification de lumière en forme de plaque ; et un miroir qui est disposé sur le trajet lumineux de la lumière laser sortant de l'amplificateur de lumière en forme de plaque ou la lumière laser injectée dans l'amplificateur de lumière en forme de plaque, et qui se déplace dans une direction parallèle au front de progression laser dans l'amplificateur de lumière en forme de plaque. Le dispositif laser peut corriger des changements de trajectoire de la lumière dans l'amplificateur de lumière en forme de plaque. 　本開示の１つの観点のレーザ装置は、レーザ光を出力するオシレータと、前記オシレータから出力されたレーザ光を、スラブ状の光増幅領域を通過させることで増幅して出力するスラブ型光増幅器と、前記スラブ型光増幅器に入力されるレーザ光又は前記スラブ型光増幅器から出力されるレーザ光の光路上に配置され、前記スラブ型光増幅器におけるレーザ進行面と平行な方向において移動するミラーと、を含んでもよい。本レーザ装置は、スラブ型光増幅器における光路変化を補正し得る。