ELECTRICAL CONTACT METHOD BETWEEN FIXED ELECTRODE AND REMOVABLE TARGET PIECE

• Main Authors: POLYAK, ALEXANDER S, RUHLAND, ERIC, TANAKA, TSUTOMU, L'HEUREUX, JAMES L, LANE, CHRISTOPHER T, HAMMOND, EDWARD P., IV
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.07.2015
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Embodiments of the present invention relate to a plasma source that includes an electrode and a plurality of target pieces covering an outer side surface of the electrode. The target pieces are electrically coupled to the electrode by one or more springs or spring-like elements. Alternatively, the target pieces may be pushed against the outer surface of the electrode by clamps or brackets. Since the target pieces are not bonded to the electrode, replacing the target pieces becomes more convenient Des modes de réalisation de la présente invention se rapportent à une source de plasma qui comprend une électrode et une pluralité de pièces cibles recouvrant une surface latérale externe de l'électrode. Les pièces cibles sont électriquement couplées à l'électrode par un ou plusieurs ressorts ou éléments de type ressort. En variante, les pièces cibles peuvent être poussées contre la surface externe de l'électrode par des pinces ou des supports. Puisque les pièces cibles ne sont pas fixées à l'électrode, le remplacement des pièces cibles devient plus pratique.