RADIATION SOURCE

• Main Authors: JILISEN, REINIER, THEODORUS, MARTINUS, KLEEMANS, NIEK, ANTONIUS, JACOBUS, MARIA, VERBRAAK, HARALD, ERNEST, DE JONG, ARJEN, TEAKE, FEENSTRA, KORNELIS, FRITS, NIKIPELOV, ANDREY, SEROGLAZOV, PAVEL, VAN ASTEN, NICOLAAS, ANTONIUS, ALLEGONDUS, JOHANNES, BEIJSENS, ROLF, THEODORUS, NICOLAAS
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 21.05.2015
• Subjects: ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; X-RAY TECHNIQUE

A radiation system for generating a radiation emitting plasma, the radiation system comprising a fuel emitter (3) for providing a fuel target at a plasma formation region (4), a first laser (1) arranged to provide a first laser beam (2) at the plasma formation region incident on the fuel target to generate a radiation emitting plasma (7), an imaging device (10) arranged to obtain a first image of the radiation emitting plasma at the plasma formation region, the first image indicating at least one image property of the radiation emitting plasma, and a controller (11). The controller is arranged to receive the first image, and to generate at least one instruction based on the at least one image property of the radiation emitting plasma to modify operation of at least one component of the radiation system to reduce a detrimental effect of debris. L'invention concerne un système de rayonnement destiné à générer un plasma émetteur de rayonnement. Ce système comprend : un émetteur de combustible (3) destiné à fournir une cible combustible dans une zone de formation de plasma (4) ; un premier laser (1) disposé de sorte à fournir un premier faisceau laser (2) dans la zone de formation de plasma frappant la cible de combustible afin de générer un plasma émetteur de rayonnement (7) ; un dispositif d'imagerie (10) disposé de sorte à obtenir une première image du plasma émetteur de rayonnement dans la zone de formation de plasma, cette première image indiquant au moins une propriété d'image du plasma émetteur de rayonnement ; ainsi qu'une unité de commande (11). L'unité de commande est disposée de sorte à recevoir la première image et à générer au moins une instruction en fonction de ladite propriété d'image au moins du plasma émetteur de rayonnement afin de modifier le fonctionnement d'au moins un composant du système de rayonnement pour réduire l'effet néfaste de débris.