TOWERS FOR SUBSTRATE CARRIERS

• Main Authors: BEATTY, CHRISTOPHER, SMITH, MARK, V, BANDREDDI, MURALI
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 23.04.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A diffuser tower assembly having a diffuser with a flared end and a fitting with an offset portion and nipple sized for the flared end. The assembly may be configured for providing low coverage purging. Diffuser tower assemblies may be in the form of a kit for retrofitting existing front opening wafer containers. The inlet fitting may include structure that enhances purge characteristics near the base of the porous media diffuser for enhanced sweeping of the floor of the substrate container. Embodiments of the disclosure generate an uneven flow distribution that provides a non-uniform flow distribution at the opening. In an embodiment, where the opening is in a substantially vertical orientation, the non- uniform flow distribution is tailored to deliver a greater flow rate to the bottom half of the opening than to the top of the opening. L'invention concerne un ensemble tour de diffuseur comprenant un diffuseur comportant une extrémité évasée et une pièce de fixation comportant une partie décalée et un mamelon dimensionné pour l'extrémité évasée. L'ensemble peut être configuré pour fournir une purge de faible couverture. Des ensembles tours de diffuseur peuvent se présenter sous forme d'un kit pour moderniser des récipients de plaquette à ouverture frontale existants. La pièce de fixation d'entrée peut comprendre une structure qui améliore les caractéristiques de purge près de la base du diffuseur de support poreux pour un meilleur balayage du fond du récipient de substrat. Des modes de réalisation de l'invention génèrent une répartition d'écoulement irrégulière qui donne une répartition d'écoulement non uniforme au niveau de l'ouverture. Selon un mode de réalisation, lorsque l'ouverture se trouve dans une orientation sensiblement verticale, la répartition d'écoulement non uniforme est ajustée de sorte à donner un débit plus important à la moitié inférieure de l'ouverture qu'à la partie supérieure de l'ouverture.