OPTICAL MODULE

• Main Author: WARASHINA YOSHIHISA
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 09.04.2015
• Subjects: CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; ELECTRIC MACHINES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERATION

An optical module (1A) is provided with: a semiconductor substrate (2); an electrostatic actuator (10) that has a fixed section (11), which is fixed to the semiconductor substrate (2), and a movable section (12), which is moved with respect to the fixed section (11) by means of an electrostatic force generated between the fixed section (11) and the movable section; a first spring section (20), which is connected to the movable section (12), and which has a first spring constant (K1); a second spring section (30), which is connected between the first spring section (20) and the semiconductor substrate (2), and which has a second spring constant (K2) that is larger than the first spring constant (K1); and a movable mirror (5), which is an optical component connected to a connecting section (13) between the first spring section (20) and the second spring section (30). Consequently, the optical module that is capable of stably and highly accurately operating the optical component using the electrostatic actuator is provided. Le module optique (1A) selon l'invention comprend : un substrat semi-conducteur (2) ; un actionneur électrostatique (10) qui possède une section fixe (11), qui est fixé au substrat semi-conducteur (2), et une section déplaçable (12), qui se déplace par rapport à la section fixe (11) sous l'effet d'une force électrostatique produite entre la section fixe (11) et la section déplaçable ; une première section élastique (20), qui est reliée à la section déplaçable (12) et qui possède une première constante d'élasticité (K1) ; une deuxième section élastique (30), qui relie la première section élastique (20) et le substrat semi-conducteur (2) et qui possède une deuxième constante d'élasticité (K2) qui est supérieure à la première constante d'élasticité (K1) ; et un miroir mobile (5), qui est un composant optique relié à une section de raccordement (13) située entre la première section élastique (20) et la deuxième section élastique (30). L'invention concerne donc un module optique qui est capable de faire fonctionner de façon stable et extrêmement précise le composant optique au moyen de l'actionneur électrostatique. 光学モジュール（１Ａ）は、半導体基板（２）と、半導体基板（２）に固定された固定部（１１）、及び、固定部（１１）との間に発生する静電力によって、固定部（１１）に対して移動させられる可動部（１２）を有する静電アクチュエータ（１０）と、可動部（１２）に接続され、第１ばね定数Ｋ１を有する第１ばね部（２０）と、第１ばね部（２０）と半導体基板（２）との間に接続され、第１ばね定数Ｋ１よりも大きい第２ばね定数Ｋ２を有する第２ばね部（３０）と、第１ばね部（２０）と第２ばね部（３０）との接続部（１３）に接続された光学部品である可動ミラー（５）と、を備える。これにより、静電アクチュエータを用いて安定的に且つ高精度に光学部品を動作させることができる光学モジュールが実現される。