METHOD FOR PRODUCING A HYDROGEN-DETECTION SENSOR, AND RESULTING SENSOR

• Main Authors: ESPINOS MANZORRO, JUAN PEDRO, CASTILLERO DURÁN, PEDRO, YUBERO VALENCIA FRANCISCO, ESPINOSA RUEDA, GUILLERMO, RODRÍGUEZ GONZÁLEZ-ELIPE, AGUSTÍN, MARTINEZ SANZ, NOELLA, BARRANCO QUERO, ÁNGEL, COTRINO BAUTISTA, JOSÉ, GARCÍA GARCÍA, FRANCISCO
• Format: Patent
• Language: English; French; Spanish
• Published: 02.04.2015
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; METALLURGY; PHYSICS; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TESTING

The invention relates to a method for producing a visual hydrogen sensor and to a sensor produced in this manner, said sensor allowing the presence of hydrogen gas in a medium to be detected by the naked eye as a result of a change of colour in the sensor. The method involves the deposition of thin porous layers of oxides that do not absorb visible light in their completely oxidised state and which become coloured when they are partially reduced. The deposition step is carried out using vapour phase deposition (VPD) in a glancing angle configuration (GLAD). The method also involves: the preparation of a solution of an active metal precursor, capable of dissociating the hydrogen molecule, and a carrier vector; and the deposition of said solution on the oxide layer in order to incorporate a minimum quantity of active metal within the pores of the oxide layer in the form of nanoparticles. Procedimiento de fabricación de un sensor visual de hidrógeno y sensor así fabricado que permite detectar a simple vista la presencia de gas hidrógeno en el medio debido a un cambio de color en dicho sensor. El procedimiento comprende la deposición de capas finas y porosas de óxidos que no absorben la luz visible en su estado totalmente oxidado que se colorean cuando se reducen parcialmente. Esta deposición se realiza mediante deposición en fase vapor (PVD) en una configuración de ángulo rasante (GLAD). El procedimiento incluye también la preparación de una disolución de un precursor de metal activo capaz de disociar la molécula de hidrógeno y un vector de arrastre y la deposición de esta disolución sobre la capa de óxido con objeto de incorporar dentro de los poros de la capa de óxido una cantidad mínima de metal activo en forma de nanopartículas. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur visuel d'hydrogène et un capteur ainsi fabriqué qui permet de détecter à la simple vue la présence d'hydrogène gazeux dans le milieu du fait d'un changement de couleur dudit capteur. Le procédé comprend le dépôt de couches fines et poreuses d'oxydes qui n'absorbent pas la lumière visible dans leur état totalement oxydé et qui se colorent lorsqu'ils sont partiellement réduits. Ce dépôt est réalisé par dépôt en phase vapeur (PVD) dans une configuration d'angle rasant (GLAD). Le procédé comprend également la préparation d'une dissolution d'un précurseur de métal actif pouvant dissocier la molécule d'hydrogène et un vecteur d'entraînement et le dépôt de cette dissolution sur la couche d'oxyde afin d'incorporer à l'intérieur des pores de la couche d'oxyde une quantité minimale de métal actif sous forme de nanoparticules.