EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION DEVICE

• Main Authors: YANAGIDA TATSUYA, WAKABAYASHI OSAMU, SUZUKI TORU, ABE TAMOTSU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 26.03.2015
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; X-RAY TECHNIQUE

The present invention makes it possible to generate stable EUV light in an appropriate state.　This extreme ultraviolet light generation device may be provided with: a chamber in which a target supplied to an inner plasma generation region is converted to plasma and extreme ultraviolet light is generated; a target supply unit which supplies the target to the plasma generation region by outputting the target as droplets into the chamber; a droplet detector which detects droplets that advance from the target supply unit to the plasma generation region; an imaging unit which captures an image of an imaging region within the chamber that includes the plasma generation region; and a control unit which controls the timing of the image capture by the imaging unit of the imaging region on the basis of the timing of the detection by the droplet detector of the droplets. 　La présente invention permet de générer de la lumière UVE stable dans un état approprié.　Ce dispositif de génération de lumière ultraviolette extrême peut comprendre une chambre dans laquelle une cible acheminée dans une région de génération de plasma interne est transformée en plasma, et un rayonnement ultraviolet extrême est généré; une unité d'acheminement de cible qui achemine la cible dans la région de génération de plasma en fournissant en sortie la cible sous forme de gouttelettes dans la chambre; un détecteur de gouttelettes qui détecte les gouttelettes qui avancent de l'unité d'acheminement de cible jusqu'à la région de génération de plasma; une unité d'imagerie qui capture une image d'une région d'imagerie à l'intérieur de la chambre qui comprend la région de génération de plasma; et une unité de commande qui commande le moment de la capture d'image par l'intermédiaire de l'unité d'imagerie de la région d'imagerie sur la base du moment de détection des gouttelettes effectuée par le détecteur de gouttelettes. 　適正な状態で安定したＥＵＶ光を生成し得る。　極端紫外光生成装置は、内部のプラズマ生成領域に供給されたターゲットがプラズマ化され極端紫外光が生成されるチャンバと、前記ターゲットをドロップレットとして前記チャンバ内に出力することで前記プラズマ生成領域に前記ターゲットを供給するターゲット供給部と、前記ターゲット供給部から前記プラズマ生成領域に進行する前記ドロップレットを検出するドロップレット検出器と、前記プラズマ生成領域を含む前記チャンバ内の撮像領域の画像を撮像する撮像部と、前記ドロップレット検出器が前記ドロップレットを検出する検出タイミングに基づいて、前記撮像部が前記撮像領域を撮像する撮像タイミングを制御する制御部と、を備えてもよい。