CHARGED-PARTICLE-BEAM DEVICE

• Main Authors: TOMIMATSU SATOSHI, ONISHI TSUYOSHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 26.03.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTROLLING; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; PHYSICS; REGULATING; SYSTEMS FOR REGULATING ELECTRIC OR MAGNETIC VARIABLES

The present invention pertains to a charged-particle-beam device provided with a high-voltage power supply (100) having a light source (102) and a plurality of serially connected photoelectric conversion elements (101), the charged-particle-beam device applying, onto a charged particle source (104), a high voltage generated in the plurality of photoelectric conversion elements (101) by light emitted by the light source (102), in order to achieve a charged-particle-beam device in which a high-voltage power supply operating under a principle different from that of a Cockcroft-Walton circuit is used. According to the present invention, the outputted high voltage does not contain an AC component, and charged particles released from a charged particle beam are accelerated so as to involve only the energy dispersion inherent in the charged particles; therefore, degradation in beam conversion performance and in energy resolution is prevented. It therefore becomes possible to realize a charged-particle-beam device having exhibiting high beam convergence performance and high energy analysis performance, and also to reduce the size of the device. 　La présente invention porte sur un dispositif à faisceau de particules chargées comportant une alimentation électrique haute tension (100) ayant une source de lumière (102) et une pluralité d'éléments de conversion photoélectrique connectés en série (101), le dispositif à faisceau de particules chargées appliquant, sur une source de particules chargées (104), une haute tension générée dans la pluralité d'éléments de conversion photoélectrique (101) par une lumière émise par la source de lumière (102), afin d'obtenir un dispositif à faisceau de particules chargées dans lequel une alimentation électrique haute tension fonctionne sous un principe différent de celui d'un circuit de Cockcroft-Walton. Selon la présente invention, la haute tension délivrée ne contient pas une composante à courant alternatif (CA), et des particules chargées libérées par un faisceau de particules chargées sont accélérées afin d'impliquer seulement la dispersion d'énergie inhérente dans les particules chargées ; ainsi, une dégradation de performances de conversion de faisceau et de résolution d'énergie est empêchée. Il devient ainsi possible de réaliser un dispositif à faisceau de particules chargées présentant des performances de convergence de faisceau élevées et des performances d'analyse d'énergie élevées, et également de réduire la taille du dispositif. 　本発明は、コッククロフト・ウォルトン回路と異なる原理の高圧電源を用いた荷電粒子線装置を実現するために、直列接続された複数の光電変換素子（１０１）と光源（１０２）を有する高圧電源（１００）を備え、光源（１０２）から照射して光（１）により複数の光電変換素子（１０１）で発生する高電圧を荷電粒子源（１０４）に印加する荷電粒子線装置に関する。　本発明によれば、出力される高電圧は交流成分を含まず、荷電粒子線から放出される荷電粒子が、それ自身が本来持つエネルギー広がりのみを持って加速されるため、ビーム収束性能の劣化やエネルギー分解能の劣化が起こらない。このため、高いビーム収束性能、高いエネルギー分析性能の荷電粒子線装置を実現でき、装置の小型化も可能となる。