SCANNING PROBE NANOLITHOGRAPHY SYSTEM AND METHOD

• Main Authors: HOLZNER, FELIX, PAUL, PHILIP, ZIENTEK, MICHAL, RAWLINGS, COLIN, KNOLL, ARMIN
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 19.03.2015
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS

A scanning probe nanolithography system comprising a probe to create nanostructures line (60) by line through writing said nanostructures (74) pixel by pixel along lines (61) on a sample. A positioning system is adapted to provide a positioning of the probe at a sequence of predetermined positions to the sample and its surface towards the probe and a control unit (50) is provided to control the positioning system for positioning the probe for a pixel-wise writing of said lines (61) through a writing unit. It further comprises a sensor unit adapted to detect a predetermined property of the written nanostructure (74), the sensor unit being connected to the control unit to adapt the control signals to be provided to the writing unit for writing the following line (61; 62) based on the measured signals (65; 66) of the predetermined property. L'invention concerne un système de nanolithographie à sonde de balayage, qui comprend une sonde servant à produire une ligne de nanostructures (60) en traçant une ligne sur lesdites nanostructures (74), pixel par pixel, le long de lignes (61) se situant sur un échantillon. Un système de positionnement est conçu pour permettre de positionner la sonde sur une séquence de positions prédéterminées par rapport à l'échantillon et à sa surface, en direction de la sonde, et une unité de commande (50) prévue sert à commander le système de positionnement afin de positionner la sonde pour l'écriture au niveau du pixel desdites lignes (61) au moyen d'une unité d'écriture. Le système comprend en outre une unité capteur, conçue pour détecter une propriété prédéterminée de la nanostructure écrite (74), l'unité capteur étant connectée à l'unité de commande pour adapter les signaux de commande devant être fournis à l'unité d'écriture pour écrire la ligne suivante (61; 62), sur la base des signaux mesurés (65; 66) de la propriété déterminée.