ARMATURE COIL FOR ELECTROMAGNETIC ACTUATOR, ELECTROMAGNETIC ACTUATOR, EXPOSURE APPARATUS, AND DEVICE MANUFACTURING METHOD

• Main Authors: TANAKA, KOJI, YOSHIMOTO, HIROMITSU, KOUKETSU, MASAYUKI, ITO, AKIHIRO, MORIMOTO, SHIGERU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 12.03.2015
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DYNAMO-ELECTRIC MACHINES; ELECTRICITY; GENERATION; INDUCTANCES; MAGNETS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES; TRANSFORMERS

Disclosed is an armature coil (60) that constitutes a stator of an x-axis linear motor and that generates a magnetic field by passing a current therethrough, the armature coil comprising: a band-shaped electroconductive layer (62a) that is made of copper and that is wound around a predetermined winding axis; a band-shaped insulating layer (62b) that is provided between opposing surfaces of the electroconductive layer (62a), and that electrically insulates the opposing electroconductive layers (62a) from one another; and a bonding layer (62c) that bonds together the opposing surfaces of the electroconductive layer (62a) with the insulating layer (62b) therebetween. L'invention concerne une bobine d'armature (60) qui constitue un stator d'un moteur linéaire d'axe X et qui génère un champ magnétique en passant un courant à travers ce dernier, la bobine d'armature comprenant : une couche électroconductrice en forme de bande (62a) qui est composée de cuivre et qui est enroulée autour d'un axe d'enroulement prédéterminé ; une couche isolante en forme de bande (62b) qui est agencée entre des surfaces opposées de la couche électroconductrice (62a) et qui isole électriquement les couches électroconductrices opposées (62a) les unes des autres ; et une couche de liaison (62c) qui relie ensemble les surfaces opposées de la couche électroconductrice (62a), la couche isolante (62b) étant agencée entre ces dernières.