LASER AMPLIFIER AND LASER DEVICE, AS WELL AS EXTREME ULTRAVIOLET LIGHT GENERATION SYSTEM

• Main Authors: SUGANUMA, TAKASHI, HOSHINO, HIDEO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 12.03.2015
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; DEVICES USING STIMULATED EMISSION; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; X-RAY TECHNIQUE

[Problem] To suppress propagation of light of a wavelength to be suppressed that is different from a desired wavelength. [Solution] The present invention may be provided with: a chamber which houses a laser medium; a first window which is provided on the chamber, and which causes laser light of a desired wavelength from the outside to be incident to the interior of the chamber; an excitation apparatus which amplifies the laser light incident to the interior of the chamber by exciting the laser medium; a second window which is provided on the chamber, and which outputs the laser light that has been amplified by the excitation apparatus to the outside of the chamber; a mirror which is disposed on a laser optical path between the first window and the second window; and a wavelength-selective film which is disposed on the first window and/or the second window and/or the mirror, and which suppresses propagation of light of a wavelength to be suppressed that is different from a desired wavelength. Le problème décrit par la présente invention est de supprimer la propagation de la lumière d'une longueur d'onde à supprimer qui est différente d'une longueur d'onde désirée. La solution selon la présente invention consiste à réaliser : une chambre qui contient un milieu laser ; une première fenêtre qui est disposée sur la chambre, et qui cause l'incidence à l'intérieur de la chambre d'une lumière laser d'une longueur d'onde désirée provenant de l'extérieur ; un appareil d'excitation qui amplifie la lumière laser incidente à l'intérieur de la chambre en excitant le milieu laser ; une seconde fenêtre qui est disposée sur la chambre, et qui émet la lumière laser qui a été amplifiée par l'appareil d'excitation vers l'extérieur de la chambre ; un miroir qui est disposé sur un chemin optique laser entre la première fenêtre et la seconde fenêtre ; et une pellicule sélective en longueur d'onde qui est disposée sur la première fenêtre et/ou la seconde fenêtre et/ou le miroir, et qui supprime la propagation de la lumière d'une longueur d'onde à supprimer qui est différente d'une longueur d'onde désirée.