K-NEAREST NEIGHBOR-BASED METHOD AND SYSTEM TO PROVIDE MULTI-VARIATE ANALYSIS ON TOOL PROCESS DATA

• Main Authors: KRIL, THORSTEN, YANOVICH, ALEKSEY, CANTWELL, DERMOT
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.02.2015
• Subjects: CALCULATING; COMPUTING; COUNTING; ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING; PHYSICS

A server computer system creates a reference fingerprint for a first tool running a recipe. The server computer system uses reference data that pertains to the first tool performing within parameters to create the reference fingerprint. The reference fingerprint includes a target baseline and allowable ranges based on the target baseline. The server computer system determines whether sample data that is associated with a second tool running the recipe is performing within the parameters based on a comparison of the sample data to the reference fingerprint. The second tool can be the first tool or another tool of a same type as the first tool. The server computer system provides a classification of the second tool to at least one of a system or a user based on the comparison of the sample data to the reference fingerprint. The classification indicates whether the second tool is performing within the parameters. L'invention concerne un système d'ordinateur serveur créant une empreinte digitale de référence pour un premier outil exécutant une formule de mélange. Le système d'ordinateur serveur utilise des données de référence qui concernent le premier outil fonctionnant dans des paramètres pour créer l'empreinte digitale de référence. L'empreinte digitale de référence inclut une ligne de base cible et des plages permises fondées sur la ligne de base cible. Le système d'ordinateur serveur détermine si des données échantillons qui sont associées à un second outil exécutant la formule de mélange fonctionne dans les paramètres en se fondant sur une comparaison des données échantillons à l'empreinte digitale de référence. Le second outil peut être le premier outil ou un autre outil du même type que le premier outil. Le système d'ordinateur serveur fournit une classification du second outil à au moins l'un d'un système ou d'un utilisateur en se fondant sur la comparaison des données échantillons à l'empreinte digitale de référence. La classification indique si le second outil fonctionne dans les paramètres.