PROCESS FOR PRODUCING POLYCRYSTALLINE SILICON

• Main Authors: SALZEDER, FRANZ, KLOSE, GÖRAN, KRAUS, HEINZ
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 05.02.2015
• Subjects: CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOIDCHEMISTRY; CHEMISTRY; COMPOUNDS THEREOF; INORGANIC CHEMISTRY; METALLURGY; NON-METALLIC ELEMENTS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL; THEIR RELEVANT APPARATUS; TRANSPORTING

Gegenstand der Erfindung ist ein Verfahren zur Herstellung von polykristallinem Silicium, umfassend Einleiten eines Reaktionsgases enthaltend eine Silicium enthaltende Komponente und Wasserstoff in einen Reaktor enthaltend wenigstens einen erhitzten Filamentstab, auf dem polykristallines Silicium abgeschieden wird, wobei der Reaktor wenigstens ein tubusförmiges Schauglas umfasst, das mit einem reaktorseitigen Ende an einer Öffnung in der Reaktorwand befestigt ist und am anderen Ende eine Glasfläche aufweist, wobei über Bohrungen im Schauglastubus während der Abscheidung ein Spülgas zugeführt wird, dadurch gekennzeichnet, dass ein Spülgasstrom M1 nahe der Glasfläche des Schauglases und im Wesentlichen parallel zu der Glasfläche verläuft und von diesem Spülgasstrom M1 in Richtung reaktorseitiges Ende des Schauglases beabstandet wenigstens ein weiterer Spülgasstrom M2 gegenüber der Glasfläche in Richtung des reaktorseitigen Endes des Schauglases geneigt verläuft. The invention provides a process for producing polycrystalline silicon, comprising introduction of a reaction gas containing a silicon-containing component and hydrogen into a reactor containing at least one heated filament rod on which polycrystalline silicon is deposited, where the reactor comprises a tubular viewing window, secured at one end adjacent to the reactor to an aperture in the reactor wall and having at the other end a glass area, where during the deposition process a flushing gas is introduced by way of holes in the tubular viewing window, characterized in that a stream M1 of flushing gas moves in the vicinity of the glass area of the viewing window and in essence parallel to the glass area and at a distance from this stream M1 of flushing gas in the direction of that end of the viewing window that is adjacent to the reactor at least one other stream M2 of flushing gas moves at an angle to the glass area in the direction of that end of the viewing window that is adjacent to the reactor. L'objet de l'invention est un procédé de fabrication de silicium polycristallin, consistant à introduire un gaz de réaction contenant un composant contenant du silicium et de l'hydrogène dans un réacteur contenant au moins une barre de filaments chauffés sur laquelle le silicium polycristallin se dépose, le réacteur comprenant au moins un verre-regard en forme de tube qui est fixé par une extrémité côté réacteur à une ouverture dans la paroi du réacteur et présente une surface de verre à l'autre extrémité, un gaz de balayage étant amené par des trous dans le tube du verre-regard pendant le dépôt, caractérisé en ce qu'un courant de gaz de balayage M1 s'étend près de la surface de verre du verre-regard et sensiblement parallèlement à la surface de verre et qu'à une certaine distance de ce courant de gaz de balayage M1 dans la direction de l'extrémité côté réacteur du verre-regard, au moins un autre courant de gaz de balayage M2 s'étend obliquement par rapport à la surface de verre dans la direction de l'extrémité côté réacteur du verre-regard.