DISPLACEMENT MEASUREMENT DEVICE AND DISPLACEMENT MEASUREMENT METHOD

• Main Authors: HAGIWARA YASUHITO, MIYAZAWA FUYUKI, HAMAMOTO TAKAKI, OYAMA KATSUHIRO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.01.2015
• Subjects: ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVEREDIN A SINGLE OTHER SUBCLASS; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; PHYSICS; TARIFF METERING APPARATUS; TESTING

[Problem] To provide a displacement measurement device and displacement measurement method that are able to suppress a decrease in light use efficiency and suppress a narrowing of the detection range. [Solution] This displacement measurement device (100) is provided with a light source (12), a collimator lens (14), a diffraction grating pair (20), and a PD (31) that is a light sensor unit. The diffraction grating pair (20) is configured from a transmissive first diffraction grating (21) and second diffraction grating (22). The periodic change in the amount of received of interference light (27) arising by means of the diffraction grating pair (20) in accordance with the relative movement in the x-direction of the diffraction grating pair (20) is detected by the PD (31). An attenuation in interference light resulting from the relative motion in the z-direction of the diffraction grating pair (20) does not arise, and so a narrowing of the detection range is suppressed, and it is possible to suppress a decrease in light use efficiency by using the transmissive diffraction grating pair (20). [Problème] L'invention concerne un dispositif de mesure de déplacement et un procédé de mesure de déplacement qui sont en mesure de supprimer une diminution du rendement de l'utilisation de la lumière et en mesure de supprimer un rétrécissement de la portée de détection. [Solution] Ce dispositif de mesure de déplacement (100) comporte une source de lumière (12), une lentille de collimateur (14), une paire de réseaux de diffraction (20), et un photodétecteur (31) qui est un module capteur de lumière. La paire de réseaux de diffraction (20) est configurée à partir d'un premier réseau de diffraction de type transmissif (21) et d'un deuxième réseau de diffraction de type transmissif (22). Le changement périodique au niveau de la quantité de lumière d'interférence reçue (27) provenant au moyen de la paire de réseaux de diffraction (20) en fonction du mouvement relatif dans la direction x de la paire de réseaux de diffraction (20) est détecté par le photodétecteur (31). Une atténuation au niveau de la lumière d'interférence résultant du mouvement relatif dans la direction z de la paire de réseaux de diffraction (20) ne se produit pas, et donc un rétrécissement au niveau de la portée de détection est supprimé, et il est possible de supprimer une diminution du rendement de l'utilisation de la lumière en utilisant la paire de réseaux de diffraction de type transmissif (20).