GLASS PALLET FOR SPUTTERING SYSTEMS

• Main Authors: FRANK, TREVOR, SATERN, JASON, ROZBICKI, ROBERT T
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 18.12.2014
• Subjects: CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; CONVEYING; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

Pallets for transporting one or more glass substrates in a substantially vertical orientation through a sputtering system. In some cases, a pallet comprising a frame with an aperture and an adjustable grid array within the aperture. The adjustable grid array is configurable to hold a plurality of glass substrates of different shapes and/or sizes. In one case, the adjustable grid array comprises a system of vertical and horizontal support bars, wherein the vertical support bars configured to both support the plurality of glass substrates at their vertical edges, wherein the horizontal support bars are configured to support the plurality of glass substrates at their horizontal edges, wherein the ends of the horizontal support bars are slideably engaged with the vertical support bars. L'invention concerne des palettes permettant de transporter un ou plusieurs substrats de verre dans une orientation sensiblement verticale à travers un système de pulvérisation cathodique. Dans certains cas, l'invention concerne une palette comprenant une structure dotée d'une ouverture et d'un boîtier matriciel réglable à l'intérieur de l'ouverture. Le boîtier matriciel réglable peut être configuré pour supporter une pluralité de substrats de verre de différentes formes et/ou tailles. Dans un cas, le boîtier matriciel réglable comprend un système de barres de support verticales et horizontales, les barres de support verticales étant conçues pour supporter la pluralité de substrats de verre au niveau de leurs bords verticaux, les barres de support horizontales étant conçues pour supporter la pluralité de substrats de verre au niveau de leurs bords horizontaux et les extrémités des barres de support horizontales étant mises en prise de manière coulissante avec les barres de support verticales.