CHARGED PARTICLE MICROSCOPE, SAMPLE HOLDER FOR CHARGED PARTICLE MICROSCOPE AND CHARGED PARTICLE MICROSCOPY METHOD

• Main Authors: TSUNETA, RURIKO, HARADA, KEN
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.12.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

Provided is a device allowing charged particle-generated images to be taken in a rotation series around an x-axis, a y-axis and a z-axis of an observed area, having, in a sample holder of a charged particle beam device, a needle-shaped sample stage having a sample mounted at the tip, a first rotating fixture having the needle-shaped sample stage mounted thereon, and a holding rod having the first rotating fixture mounted at the tip, and constituted by a first rotation angle control mechanism rotating the holding rod inside a sample chamber around a first axis orthogonal to an optical axis of a microscope, a second rotation angle control mechanism for rotating the first rotating fixture inside the sample chamber around a second axis, and an angle setting mechanism for setting the angle between the first axis and the second axis to about 54.7 degrees. La présente invention concerne un dispositif permettant que des images générées par des particules chargées soient prises dans une série de rotations autour d'un axe x, d'un axe y et d'un axe z d'une zone observée, qui possède, dans un porte-échantillons d'un dispositif à faisceau de particules chargées, un étage d'échantillons en forme d'aiguille possédant un échantillon monté au niveau de la pointe, une première fixation rotative sur laquelle l'étage d'échantillons en forme d'aiguille est monté et une tige de support possédant la première fixation rotative montée au niveau de la pointe et constitué par un premier mécanisme de commande d'angle de rotation faisant tourner la tige de support à l'intérieur d'une chambre d'échantillons autour d'un premier axe orthogonal à un axe optique d'un microscope, un second mécanisme de commande d'angle de rotation permettant de faire tourner la première fixation rotative à l'intérieur de la chambre d'échantillons autour d'un second axe, ainsi qu'un mécanisme de définition d'angle permettant de définir l'angle compris entre le premier axe et le second axe sur environ 54,7 degrés.