METHOD FOR CLEANING A VACUUM PUMP

Zur Reinigung einer Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Holweck-Pumpe handelt, wird das zu reinigende Rotorelement in eine Vibration versetzt. Dies erfolgt durch Ansteuern eines Elektromagneten (38) mit Hilfe einer Steuereinrichtung (40), wobei es sich bei dem Elektromagneten (38) insb...

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Main Authors HUNDERTMARK, STEPHAN, WALCZAK, ALEXANDRA, DI NIRO, BASILIO
Format Patent
LanguageEnglish
French
German
Published 16.10.2014
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Summary:Zur Reinigung einer Vakuumpumpe, bei der es sich insbesondere um eine Holweck-Pumpe handelt, wird das zu reinigende Rotorelement in eine Vibration versetzt. Dies erfolgt durch Ansteuern eines Elektromagneten (38) mit Hilfe einer Steuereinrichtung (40), wobei es sich bei dem Elektromagneten (38) insbesondere um einen Elektromagneten eines Magnetlagers (16) handelt, das die Rotorwelle (12) in einem Gehäuse (10) lagert. The invention relates to a method for cleaning a vacuum pump, in particular a Holweck pump, wherein the rotor element to be cleaned is vibrated. This occurs by actuating an electromagnet (38) using a control device (40), wherein the electromagnet (38) is in particular an electromagnet of a magnetic bearing (16) which bears the rotor shaft (12) in a housing (10). Pour le lavage d'une pompe à vide, notamment d'une pompe Holweck, l'élément rotor à laver est mis en vibration. Ceci est réalisé par commande d'un électroaimant (38) à l'aide d'un dispositif de commande (40), l'électroaimant (38) étant notamment un électroaimant d'un palier magnétique (16) qui loge l'arbre de rotor (12) dans un boîtier (10).
Bibliography:Application Number: WO2014EP55535