THERMAL TREATMENT SYSTEM AND METHOD OF PERFORMING THERMAL TREATMENT AND METHOD OF MANUFACTURING CIGS SOLAR CELL USING THE SAME

• Main Authors: LEE, SEOK JIN, YANG, HEE CHUL, KIM, BONG CHEOL, DO, JIN YEONG, HWANG, JAE GUN, LEE, IN HA, HAN, DEOK WOO, JUNG, KI YOUNG, SEO, JIN U, JUNG, JONG YOUB, KIM, SUK JIN, PAENG, SUNG HWAN, KANG, MIN HWAN
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 09.10.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION ORPROCESSING OF GOODS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGYGENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION; SEMICONDUCTOR DEVICES; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS; TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINSTCLIMATE CHANGE

Disclosed is a thermal treatment system which enables a uniform temperature distribution and a uniform concentration distribution of reaction gas in an entire reaction space for a thermal treatment process, a method of performing a thermal treatment, and a method of manufacturing a CIGS solar cell using the same, wherein the thermal treatment system may include a reaction chamber with a reaction space, an external chamber surrounding the reaction chamber, a door chamber provided to open or close the reaction space of the reaction chamber, and an air flow adjusting apparatus for circulation of an flow inside the reaction space of the reaction chamber, wherein the air flow adjusting apparatus includes a driving axis, an air flow suction unit connected with the driving axis, and an air flow discharging unit connected with the air flow suction unit. L'invention concerne un système de traitement thermique qui permet une répartition homogène de température et une répartition homogène de concentration d'un gaz de réaction dans un espace réactionnel entier pour un procédé de traitement thermique, un procédé d'exécution d'un traitement thermique et un procédé de fabrication d'une cellule solaire CIGS au moyen de ceux-ci, le système de traitement thermique pouvant comprendre une chambre de réaction avec un espace de réaction, une chambre externe entourant la chambre de réaction, une chambre porte ménagée pour ouvrir ou fermer l'espace de réaction de la chambre de réaction et un appareil de réglage d'écoulement d'air pour la circulation d'un écoulement à l'intérieur de l'espace de réaction de la chambre de réaction, l'appareil de réglage d'écoulement d'air comprend un axe d'entraînement, une unité d'aspiration d'écoulement d'air reliée à l'axe d'entraînement et une unité d'évacuation d'écoulement d'air reliée à l'unité d'aspiration d'écoulement d'air.