COMPOSITE SHEET FOR PROTECTIVE FILM FORMATION, METHOD FOR PRODUCING COMPOSITE SHEET FOR PROTECTIVE FILM FORMATION, AND METHOD FOR PRODUCING CHIP WITH PROTECTIVE FILM

• Main Authors: TAKANO, KEN, KABUTO, AKIO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 18.09.2014
• Subjects: ADHESIVE PROCESSES NOT PROVIDED FOR ELSEWHERE; ADHESIVES; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMISTRY; DYES; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; LAYERED PRODUCTS; LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT ORNON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM; METALLURGY; MISCELLANEOUS APPLICATIONS OF MATERIALS; MISCELLANEOUS COMPOSITIONS; NATURAL RESINS; NON-MECHANICAL ASPECTS OF ADHESIVE PROCESSES IN GENERAL; PAINTS; PERFORMING OPERATIONS; POLISHES; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING; USE OF MATERIALS AS ADHESIVES

[Problem] To provide a composite sheet for protective film formation, which has good holding power with respect to a jig such as a ring frame and excellent releasability at the time of pick-up, and which is capable of preventing defects that are caused by decrease in adhesion between a second adhesive layer and an adhesive layer (a first adhesive layer) of an adhesive sheet. [Solution] A composite sheet for protective film formation according to the present invention comprises a film for protective film formation on a first adhesive layer of an adhesive sheet, which comprises a base and the first adhesive layer as constituent layers, with a second adhesive layer being interposed therebetween. The shape of the second adhesive layer is contained in the shape of the adhesive sheet when viewed in plan; the first adhesive layer is formed of an energy ray-curable adhesive or an adhesive that is obtained by curing an energy ray-curable adhesive; the second adhesive layer is formed of an adhesive that is obtained by curing an energy ray-curable adhesive; and the tensile modulus of the second adhesive layer at 25°C is 200-2,000 MPa. Le problème à résoudre dans le cadre de la présente invention est de proposer une feuille composite pour formation de film de protection, qui possède une résistance de collage satisfaisante par rapport à un support de montage, tel qu'un cadre annulaire, et une excellente aptitude au décollage au moment de l'enlèvement, et qui est capable d'empêcher des défauts qui sont entraînés par une réduction d'adhérence entre une seconde couche adhésive et une couche adhésive (première couche adhésive) d'une feuille adhésive. La solution proposée consiste en une feuille composite pour formation de film de protection qui comprend un film pour formation de film de protection sur une première couche adhésive d'une feuille adhésive, qui comprend une base et la première couche adhésive en tant que couches constituantes, une seconde couche adhésive étant interposée entre ces deux couches. La forme de la seconde couche adhésive est contenue dans la forme de la feuille adhésive en vue en plan ; la première couche adhésive est formée d'un adhésif durcissable par rayon énergétique ou d'un adhésif qui est obtenu en durcissant un adhésif durcissable par rayon énergétique ; la seconde couche adhésive est formée d'un adhésif qui est obtenu en durcissant un adhésif durcissable par rayon énergétique ; et le module de traction de la seconde couche adhésive à 25 °C est 200 à 2 000 MPa.