PHOTODIODE ARRAY

• Main Authors: SAKAMOTO AKIRA, YAMANAKA TATSUMI, HOSOKAWA NOBURO
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 05.06.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

This photodiode array is equipped with a plurality of photodiodes formed on a semiconductor substrate. Each of the photodiodes has: a first semiconductor region of a first conductive type provided on the semiconductor substrate; a second semiconductor region of a second conductive type constituting the first semiconductor region and a photodetection region, and provided on one surface of the semiconductor substrate in relation to the first semiconductor region so as to surround a prescribed region; and a through electrode electrically connected to the second semiconductor region, and positioned inside a through-hole for passing between the one surface and the other surface of the semiconductor substrate so as to pass through the first semiconductor region and the prescribed region. Furthermore, the through electrode includes a section which widens from the one surface toward the other surface. La présente invention concerne un réseau de photodiodes équipé d'une pluralité de photodiodes formées sur un substrat semi-conducteur. Chaque photodiode comporte : une première région semi-conductrice d'un premier type conducteur disposée sur le substrat semi-conducteur ; une seconde région semi-conductrice d'un second type conducteur constituant la première région semi-conductrice et une région de photodétection, et disposée sur la première surface du substrat semi-conducteur par rapport à la première région semi-conductrice de façon à entourer une région prescrite ; et une électrode traversante, connectée électriquement à la seconde région semi-conductrice, et positionnée à l'intérieur d'un trou traversant pour passer entre la première surface et l'autre surface du substrat semi-conducteur de façon à passer à travers la première région semi-conductrice et la région prescrite. En outre, l'électrode traversante comprend une section qui s'élargit à partir de la première surface vers l'autre surface.