PRESSURE MEASURING CELL

• Main Authors: ROSSBERG, ANDREAS, PONATH, NILS, SCHMIDT, ELKE, DREWES, ULFERT
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 05.06.2014
• Subjects: MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

Eine Druckmesszelle (20) weist eine elastische Messmembran (21) auf, wobei die Messmembran (21) auf einer ersten Seite mit einem ersten Druck und auf einer der ersten Seite abgewandten, zweiten Seite mit einem zweiten Druck beaufschlagbar ist, wobei die Messmembran in Abhängigkeit einer Differenz zwischen dem ersten Druck und dem zweiten Druck auslenkbar ist, wobei die Messmembran ein erstes Volumen, welchem die erste Seite der Messmembran zugewandt ist, von einem zweiten Volumen, welchem die zweite Seite der Messmembran zugewandt ist, druckdicht trennt, wobei die Druckmesszelle weiterhin einen Wandler aufweist, zum Wandeln der druckabhängigen Auslenkung der Messmembran in ein elektrisches oder optisches Signal, dadurch gekennzeichnet, dass die Messmembran zumindest in einem radialen Randbereich (24), in welchem im ausgelenkten Zustand der Messmembran unter Druckbeaufschlagung Zugspannungsmaxima auftreten, im Gleichgewichtszustand der Messmembran zumindest an der Oberfläche der Messmembran Druckspannungen vorliegen. A pressure measuring cell (20) has an elastic measuring membrane (21), wherein a first pressure can be applied to the measuring membrane (21) on a first side and a second pressure can be applied on a second side facing away from the first side. The measuring membrane can be deflected on the basis of a difference between the first pressure and the second pressure. The measuring membrane pressure-tightly separates a first volume, which faces the first side of the membrane, from a second volume, which faces the second side of the measuring membrane. The pressure measuring cell additionally has a transducer for converting the pressure-dependent deflection of the measuring membrane into an electrical or optical signal. The pressure measuring cell is characterized in that, at least in a radial peripheral region (24) in which tensile stress maxima occur in the deflected state of the measuring membrane under application of pressure, the measuring membrane has compressive stresses in the equilibrium state of the measuring membrane, at least at the surface of the measuring membrane. L'invention concerne une cellule de mesure de pression (20) présentant une membrane de mesure élastique (21), la membrane de mesure (21) pouvant être exposée sur une première face à une première pression et sur une deuxième face opposée à la première face à une deuxième pression. La membrane de mesure peut être déviée en fonction d'une différence entre la première pression et la deuxième pression. La membrane de mesure sépare de manière étanche à la pression un premier volume, vers lequel la première face de la membrane de mesure est tournée, d'un deuxième volume, vers lequel la deuxième face de la membrane de mesure est tournée. La cellule de mesure de pression comprend en outre un convertisseur destiné à convertir la déviation, dépendant de la pression, de la membrane de mesure en signal électrique ou optique. L'invention est caractérisée en ce qu'au moins dans une zone de bord (24) radiale, dans laquelle, une fois la membrane de mesure déviée, des maxima d'effort de tension apparaissent sous l'effet d'une exposition à une pression, des contraintes de compression sont présentes au moins sur la surface de la membrane de mesure, une fois la membrane de mesure équilibrée.