WAFER STORAGE CONTAINER

• Main Authors: MATSUTORI, CHIAKI, OHNUKI, KAZUMASA, OYAMA, TAKAHARU, INOUE, SHUICHI, SHIDA, HIROYUKI, YAMAGISHI, HIROKI, NAGASHIMA, TSUYOSHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 30.05.2014
• Subjects: ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS,e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES,DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; PACKAGES; PACKAGING ELEMENTS; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; STORING; TRANSPORTING

This wafer storage container (1) comprises: lid body-side wafer support parts (73) which, when a container main body aperture part (21) is closed by a lid body (3), are capable of supporting edge parts of a plurality of wafers (W); and rear-side wafer support parts (6) which, when the container main body aperture part (21) is closed by the lid body (3), support the plurality of wafers (W) in a wafer storage space (27) together with the lid body-side wafer support parts (73). The lid-body-side wafer support parts (73) manifest flexibility in supporting the wafers (W). If a closed-state wafer (W1) is defined as being a wafer (W) which is stored in the wafer storage space (27) in a container main body (2) in a state wherein the container main body aperture part (21) is closed by the lid body (3), and a closed-circumstance center (C1) is defined as being the center of a closed-state wafer (W1), the rear-side wafer support parts (6), when a closed-state wafer (W1) is viewed in the thickness direction (D2), are disposed in a pair about a depth direction reference line (CL1) and support the wafer (W). A center angle (α) which the rear-side wafer support parts (6) form toward the depth direction (D12) with respect to a left-right direction reference line (CL2) when a closed-state wafer (W1) is viewed in the thickness direction (D2) is 20-55°. Le présent récipient de stockage (1) de plaquettes comprend : des parties de support (73) de plaquette du côté du corps de couvercle qui, quand une partie d'orifice (21) du corps principal du récipient est fermée par un corps de couvercle (3), sont capables de supporter des parties d'arête d'une pluralité de plaquettes (W) ; et des parties de support de plaquette arrière (6) qui, quand la partie d'orifice (21) du corps principal du récipient est fermée par le corps de couvercle (3), supporte la pluralité de plaquettes (W) dans un espace de stockage (27) de plaquettes ainsi que les parties de support (73) de plaquettes du côté du corps de couvercle. Les parties de support (73) de plaquettes du côté du corps de couvercle supportent les plaquettes (W) de manière flexible. Si une plaquette à l'état fermé (W1) est définie comme étant une plaquette (W) qui est stockée dans l'espace de stockage (27) de plaquettes dans un corps principal (2) de récipient dans un état dans lequel la partie d'orifice (21) du corps principal du récipient est fermée par le corps de couvercle (3), et un centre de circonstances fermées (C1) est défini comme étant le centre d'une plaquette à l'état fermé (W1), les parties de support de plaquette arrière (6), quand une plaquette à l'état fermé (W1) est vue dans la direction de l'épaisseur (D2), sont disposées en paires autour d'une ligne de référence de direction de la profondeur (CL1) et supportent la plaquette (W). Un angle central (α) que forment les parties de support de plaquettes arrière (6) vers la direction de la profondeur (D12) par rapport à une ligne de référence de direction gauche-droite (CL2) quand une plaquette à l'état fermé (W1) est vue dans la direction de l'épaisseur (D2) est compris entre 20° et 55°.