ELASTIC WAVE ELEMENT AND ELASTIC WAVE SENSOR USING SAME

• Main Authors: IWASAKI, TOMOHIRO, TSUZUKI, SHIGERU, NAKAMURA, HIROYUKI, NISHIMURA, KAZUNORI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 10.04.2014
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; RESONATORS; TESTING

An elastic wave element is provided with: a piezoelectric substrate; an excitation electrode configured to excite and output a principal elastic wave on the piezoelectric substrate; a reception electrode configured to receive the principal elastic wave; a propagation path configured such that the principal elastic wave propagates on the piezoelectric substrate between the excitation electrode and the reception electrode; and a sensitive part configured to react with a substance to be detected. The propagation path is configured such that the principal elastic wave passes the sensitive part along the propagation path multiple times. The elastic wave element has high sensing sensitivity to the substance to be detected. Cette invention concerne un élément de diffusion d'ondes élastiques comprenant : un substrat piézoélectrique; une électrode d'excitation conçue pour exciter et générer une onde élastique principale sur le substrat piézoélectrique; une électrode de réception conçue pour recevoir l'onde élastique principale; une voie de propagation conçue pour que l'onde élastique principale se propage sur le substrat piézoélectrique entre l'électrode d'excitation et l'électrode de réception; et une partie sensible conçue pour réagir avec une substance qui doit être détectée. La voie de propagation est conçue de façon que l'onde élastique principale traverse la partie sensible le long de la voie de propagation de multiples fois. L'élément de diffusion d'ondes élastiques selon l'invention a une sensibilité de détection élevée vis-à-vis de la substance qui doit être détectée.