PROCESS CHAMBER HAVING MORE UNIFORM GAS FLOW

• Main Authors: SAMIR, MEHMET TUGRUL, LAU, SHU-KWAN
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 03.04.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

Embodiments of process chambers having flow path defining components that may provide more uniform gas flow are provided herein. In some embodiments, a process chamber lid to provide more uniform gas flow may include a dome; an outwardly extending flange disposed about a peripheral edge of the dome; and an upwardly sloped portion coupling the peripheral edge of the dome to the outwardly extending flange, wherein a portion of the outwardly extending flange and a portion of the upwardly sloped portion form a flow path with an interior surface of a process chamber when the process chamber lid is disposed atop the process chamber to provide a flow of gas towards an interior of the process chamber, wherein an angle between the upwardly sloped portion and a bottom surface of the outwardly extending flange is less than 90 degrees. Des modes de réalisation de chambres de traitement ayant des chemins d'écoulement définissant des composants qui peuvent fournir un écoulement de gaz plus uniforme sont décrits dans la présente invention. Selon certains modes de réalisation, un couvercle de chambre de traitement pour fournir un écoulement de gaz plus uniforme peut comprendre un dôme ; une bride s'étendant vers l'extérieur disposée autour d'un bord périphérique du dôme ; et une partie inclinée vers le haut couplant le bord périphérique du dôme à la bride s'étendant vers l'extérieur, une partie de la bride s'étendant vers l'extérieur et une partie de la partie inclinée vers le haut formant un chemin d'écoulement avec une surface intérieure d'une chambre de traitement lorsque le couvercle de chambre de traitement est disposé au sommet de la chambre de traitement pour fournir un écoulement de gaz vers l'intérieur de la chambre de traitement, un angle entre la partie inclinée vers le haut et une surface inférieure de la bride s'étendant vers l'extérieur étant inférieur à 90 degrés.