CHARGED PARTICLE BEAM DEVICE AND OBJECTIVE LENS

• Main Authors: KAMIYA CHISATO, AGEMURA TOSHIHIDE
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 27.02.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An objective of the present invention is to provide an objective lens control method whereby magnetic saturation is alleviated in a device whereupon two or more objective lenses are mounted in combination, and to implement high acceleration voltage short focus. As a means for solving the problem, the present invention comprises the following configuration. Provided is a charged particle beam device comprising: a charged particle beam acceleration means for accelerating a charged particle beam which is discharged from a charged particle source; a convergence means for causing a convergence of the charged particle beam which is accelerated by the charged particle beam acceleration means; a scanning means for two-dimensionally scanning upon a sample the charged particle beam which is accelerated by the convergence means; and an objective lens which causes a convergence upon the sample of the charged particle beam which is scanned by the scanning means. The objective lens is configured from a plurality of magnetic poles and a plurality of coils, and has power sources which send current flowing independently through the plurality of coils, simultaneously sending the current flowing through the plurality of coils. Un objectif de la présente invention est de fournir un procédé de commande de lentille de focalisation permettant de soulager la saturation magnétique dans un dispositif sur lequel deux lentilles de focalisation ou plus sont montées en association les unes avec les autres, et de mettre en oeuvre un foyer court à tension d'accélération élevée. Pour ce faire, la présente invention comprend la configuration suivante. La présente invention a trait à un dispositif à faisceau de particules chargées qui comprend : un moyen d'accélération de faisceau de particules chargées permettant d'accélérer un faisceau de particules chargées qui est déchargé à partir d'une source de particules chargées ; un moyen de convergence permettant d'entraîner une convergence du faisceau de particules chargées qui est accéléré par le moyen d'accélération de faisceau de particules chargées ; un moyen d'analyse par balayage permettant d'analyser par balayage et de façon bidimensionnelle un échantillon du faisceau de particules chargées qui est accéléré par le moyen de convergence ; et une lentille de focalisation qui entraîne une convergence sur l'échantillon du faisceau de particules chargées qui est analysé par balayage par le moyen d'analyse par balayage. La lentille de focalisation est constituée d'une pluralité de pôles magnétiques et d'une pluralité de bobines, et est dotée de blocs d'alimentation qui envoient le courant passant de façon indépendante par la pluralité de bobines, l'envoi du courant passant par la pluralité de bobines étant simultané.