SCANNING MECHANISM AND SCANNING PROBE MICROSCOPE

• Main Authors: SAKAI, NOBUAKI, UEKUSA, YOSHITSUGU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 13.02.2014
• Subjects: APPLICATIONS OF SCANNING-PROBE TECHNIQUES, e.g. SCANNING PROBEMICROSCOPY [SPM]; MEASURING; PHYSICS; SCANNING-PROBE TECHNIQUES OR APPARATUS; TESTING

A scanning mechanism (10) has: a fixed frame (11); an XY stage (19) that is disposed in the fixed frame (11); and piezoelectric elements (12A, 12B, 12C) that are disposed between the XY stage (19) and the fixed frame (11). The XY stage (19) has an XY movable section (14) that can move in the X axis direction and the Y axis direction. The piezoelectric elements (12A, 12B, 12C) constitute an XY actuator in the X axis direction and the Y axis direction, in which the XY movable section (14) is scanned, and the XY actuator is symmetric with respect to a straight line, which passes the gravity center of the XY movable section (14), and which is parallel to the Y axis direction, and the XY actuator is asymmetric with respect to a straight line, which passes the gravity center of the XY movable section (14), and which is parallel to the X axis direction. L'invention concerne un mécanisme (10) de balayage comprenant : un cadre fixe (11); une platine X-Y (19) qui est disposée dans le cadre fixe (11); et des éléments piézoélectriques (12A, 12B, 12C) qui sont disposés entre la platine X-Y (19) et le cadre fixe (11). La platine X-Y (19) comprend une section (14) mobile en X-Y qui peut se déplacer dans la direction de l'axe X et dans la direction de l'axe Y. Les éléments piézoélectriques (12A, 12B, 12C) constituent un actionneur X-Y dans la direction de l'axe X et la direction de l'axe Y, dans lesquelles la section (14) mobile en X-Y effectue un balayage, et l'actionneur X-Y est symétrique par rapport à une droite qui passe par le centre de gravité de la section (14) mobile en X-Y et qui est parallèle à la direction de l'axe Y, et l'actionneur X-Y est asymétrique par rapport à une droite qui passe par le centre de gravité de la section (14) mobile en X-Y et qui est parallèle à la direction de l'axe X.