APPARATUS AND METHOD FOR CROSS-FLOW PURGE FOR OPTICAL COMPONENTS IN A CHAMBER

• Main Authors: ROSE, GARRY, DELGADO, GILDARDO, LARSON, H. STEVEN, HENNIGAN, DANIEL R
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 16.01.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CLEANING; CLEANING IN GENERAL; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

An apparatus for cross-flow purging for optical components in a chamber, including: a housing with first and second axial ends, a side wall extending in an axial direction and connecting the first and second axial ends, and the chamber formed by the first and second axial ends and the side wall; an optical component disposed within the chamber and fixed with respect to the housing via at least one connecting point on the optical component; an inlet port aligned with the side wall, between the first and second axial ends in the axial direction, in a radial direction orthogonal to the axial direction and arranged to inject a purge gas into the chamber and across the optical component in a radial direction orthogonal to the axial direction; and an exhaust port aligned with the side wall in the radial direction and arranged to exhaust the purge gas from the chamber. La présente invention porte sur un appareil pour une purge de flux transversal pour des composants optiques dans une chambre, qui comprend : un boîtier avec des première et seconde extrémités axiales, une paroi latérale s'étendant dans une direction axiale et connectant les première et seconde extrémités axiales, et la chambre formée par les première et seconde extrémités axiales et la paroi latérale ; un composant optique disposé à l'intérieur de la chambre et fixé par rapport au boîtier par l'intermédiaire d'au moins un point de connexion sur le composant optique ; un port d'entrée aligné avec la paroi latérale, entre les première et seconde extrémités axiales dans la direction axiale, dans une direction radiale orthogonale à la direction axiale et agencé pour injecter un gaz de purge dans la chambre et à travers le composant optique dans une direction radiale orthogonale à la direction axiale ; et un port d'échappement aligné avec la paroi latérale dans la direction radiale et agencé pour évacuer le gaz de purge de la chambre.