PRESSURE SENSOR

• Main Author: KAKOIYAMA, NAOKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.01.2014
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TESTING

A pressure sensor comprises: a sensor (10), on which a first to fourth gauge resistance (25a to 25d) are disposed on a diaphragm (24), and for which one end (21) is fixed; and a support member (40) to fix the sensor (10). A first to fourth pair of piezoresistive elements (26a to 26h) are disposed on the diaphragm. The two piezoresistive elements of each pair have opposite directions of resistance change, respectively, and the distance to the support member is mutually equal. Each of the piezoresistive elements of the third and fourth pair is further from the support member than each of piezoresistive elements of the first and second pair. Each gauge resistance is made from the combined resistance of two corresponding piezoresistive elements connected in series, with the two piezoresistive elements having the same direction of resistance change. La présente invention porte sur un capteur de pression qui comprend : un capteur (10), sur lequel de première à quatrième résistances de jauge (25a à 25d) sont agencés sur un diaphragme (24), et pour lequel une extrémité (21) est fixée ; et un élément de support (40) pour fixer le capteur (10). De première et quatrième paires d'éléments piézorésistifs (26a à 26h) sont réparties sur le diaphragme. Les deux éléments piézorésistifs de chaque paire ont des directions opposées de changement de résistance, respectivement, et la distance à l'élément de support est mutuellement égale. Chacun des éléments piézorésistifs de la troisième à quatrième paire est plus éloigné de l'élément de support que chacun des éléments piézorésistifs de la première et de la deuxième paire. Chaque résistance de jauge est réalisée à partir de la résistance combinée de deux éléments piézorésistifs correspondants reliés en série, ayant les deux éléments piézorésistifs ayant la même direction de changement de résistance.