METAL-INSULATOR-METAL CAPACITORS ON GLASS SUBSTRATES

• Main Authors: KIDWELL, DONALD WILLIAM, LASITER, JON BRADLEY, SHENOY, RAVINDRA V
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 31.10.2013
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS; OPTICS; PERFORMING OPERATIONS; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

This disclosure provides systems, methods, and apparatus for metal- insulator- metal capacitors on glass substrates. In one aspect, an apparatus (1000)includes a glass substrate (1002), with the glass substrate defining at least one via in the glass substrate. A first electrode layer (1016) is disposed over surfaces of the glass substrate, including surfaces of the at least one via. A dielectric layer (1020) is disposed on the first electrode layer. A second electrode layer (1024) is disposed on the dielectric layer, with the dielectric layer electrically isolating the first electrode layer from the second electrode layer of the capacitor. L'invention concerne des systèmes, des procédés et un appareil pour des condensateurs métal-isolateur-métal sur substrats de verre. Selon un aspect, l'appareil (1000) comprend un substrat de verre (1002) dans lequel au moins un trou de raccordement est défini. Une première couche d'électrode (1016) est disposée sur les surfaces du substrat en verre, ces dernière comprenant au moins un/des trou(s) de raccordement. Une couche diélectrique (1020) est disposée sur la première couche d'électrode. Une seconde couche d'électrode (1024) est disposée sur la couche diélectrique qui isole électriquement la première couche d'électrode de la seconde couche d'électrode du condensateur.