APPARATUS AND METHOD FOR SYNCHRONIZING SAMPLE STAGE MOTION WITH A TIME DELAY INTEGRATION CHARGE-COUPLE DEVICE IN A SEMICONDUCTOR INSPECTION TOOL

• Main Authors: SUBRAHMANYAN, PRADEEP, WRIGHT, MICHAEL, WACK, DANIEL, ALLES, DAVID
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 24.10.2013
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; SEMICONDUCTOR DEVICES

A method for synchronizing sample stage motion with a time delay integration (TDI) charge-couple device (CCD) in a semiconductor inspection tool, including: measuring a lateral position of a stage holding a sample being inspected; measuring a vertical position of the stage; determining a corrected lateral position of an imaged pixel of the sample based on the measured lateral and vertical positions; and synchronizing charge transfer of the TDI CCD with the corrected lateral position of the imaged pixel. L'invention concerne un procédé de synchronisation de mouvement d'une platine porte-échantillons avec un dispositif à couplage de charge (CCD) avec intégration de retard temporel (TDI) dans un outil d'inspection de semiconducteurs, comprenant les étapes suivantes : mesurer une position latérale d'une platine portant un échantillon inspecté; mesurer une position verticale de la platine; déterminer une position latérale corrigée d'un pixel capturé de l'échantillon, en fonction des positions latérale et verticale mesurées; et synchroniser le transfert de charge du CCD TDI en fonction de la position latérale corrigée du pixel capturé.