DOUBLE ENDED ELECTRODE MANIPULATOR

• Main Authors: BALLOU, JON, SIERADZKI, MANNY, OLSON, JOSEPH C, MORIN, JEANNOT
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 24.10.2013
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

An electrode adjustment method and apparatus are disclosed for use in workpiece processing. The assembly may include an electrode assembly (124) having first and second ends (126, 128). First and second manipulators (130, 132) may be coupled to the first and second ends. The manipulators may be used to selectively impart movement to the first and second ends of the electrode assembly to adjust one or more properties of an ion beam passing through the electrodes. The first and second manipulators may be independently actuatable so that the first and second ends of the electrode can be adjusted independent of one another. Methods of using the disclosed apparatus are also disclosed. L'invention concerne un procédé et un appareil de réglage d'électrode destiné à être utilisé dans le traitement de pièces. L'assemblage peut comprendre un ensemble électrode (124) présentant des première et seconde extrémités (126, 128). Des premier et second manipulateurs (130, 132) peuvent être accouplés aux première et seconde extrémités. Les manipulateurs peuvent être utilisés pour transmettre sélectivement un mouvement aux première et seconde extrémités de l'ensemble électrode afin d'ajuster au moins une propriété d'un faisceau ionique traversant les électrodes. Les premier et second manipulateurs peuvent être indépendamment actionnables de sorte que les première et seconde extrémités de l'électrode peuvent être réglées indépendamment l'une de l'autre. L'invention concerne également des procédés d'utilisation de l'appareil décrit.