MOBILE BODY DEVICE, EXPOSURE DEVICE, AND DEVICE PRODUCTION METHOD

• Main Author: MORIMOTO, SHIGERU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 17.10.2013
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; SEMICONDUCTOR DEVICES

A stage device is provided with: stages (WST, MST) capable of moving along an XY flat surface on a stage base; a first and second magnet unit (51A, 51B) disposed on the respective stages (WST, MST); and a flat surface motor which has a coil unit (60) containing multiple coils arranged in a two-dimensional manner on the stage base, and which drives the stages (WST, MST) by means of the drive force generated by means of the electromagnetic interaction between the magnetic units (51A, 51B). The layout of the magnets on the coils (38) constituting the coil unit is determined such that the magnets constituting magnet unit (51A) and the magnets constituting magnet unit (51B) do not face one another at the same time when the stages (WST, MST) are in contact with one another or are next to one another within a predetermined distance relative to the Y axis direction on the stage base. L'invention porte sur un dispositif à platines qui comprend : des platines (WST, MST) pouvant se déplacer le long d'une surface plate XY sur une base de platine ; des première et seconde unités à aimants (51A, 51B) disposées sur les platines respectives (WST, MST) ; et un moteur de surface plate qui comporte une unité à bobines (60) contenant de multiples bobines agencées d'une manière bidimensionnelle sur la base de platine, et qui entraîne les platines (WST, MST) au moyen de la force motrice générée par l'interaction électromagnétique entre les unités magnétiques (51A, 51B). La disposition des aimants sur les bobines (38) constituant l'unité à bobines est déterminée de manière que les aimants constituant l'unité à aimants (51A) et les aimants constituant l'unité à aimants (51B) ne soient pas l'un en face de l'autre en même temps lorsque les platines (WST, MST) sont en contact l'une avec l'autre ou sont proches l'une de l'autre à moins d'une distance prédéterminée dans la direction d'axe Y sur la base de platine.