DEFECT DETECTION APPARATUS

• Main Authors: KOHKETSU, HIDETO, SHINOZAKI, TOSHIYUKI, NAKAKURA, YUKIHIKO, UEDA, YASUHIRO, MORITA, HARUYUKI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 03.10.2013
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; MEASURING MAGNETIC VARIABLES; PHYSICS; TESTING

To suitably detect defects of wiring on a substrate. An infrared camera (4) is attached to the beam section (12c) of a gantry (12), said beam section being disposed across an alignment stage (11) having a mother board (1) placed thereon, such that the relative position with respect to the board surface of the mother board (1) placed on the alignment stage (11) is fixed in the direction perpendicular to the board surface. La présente invention vise à détecter de manière appropriée des défauts de câblage sur un substrat. Une caméra infrarouge (4) est fixée à la section de faisceau (12c) d'un portique (12), ladite section de faisceau étant disposée de part et d'autre d'un étage d'alignement (11) ayant une carte mère (1) placée sur celui-ci, de telle sorte que la position relative par rapport à la surface de carte de la carte mère (1) placée sur l'étage d'alignement (11) est fixe dans la direction perpendiculaire à la surface de carte.