CERAMIC PRESSURE SENSOR AND METHOD FOR PRODUCTION THEREOF

• Main Authors: MAY, ROBERTO, COGLIATI, ACHILLE, ALBONICO, ANGELO MARIO ADAMO, REGOLIOSI, PIETRO
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 26.09.2013
• Subjects: ELECTRICITY; MEASURING; MEASURING FORCE, STRESS, TORQUE, WORK, MECHANICAL POWER,MECHANICAL EFFICIENCY, OR FLUID PRESSURE; PHYSICS; TESTING

A method for production of a pressure sensor (130) comprising a flat flexible membrane (100) made of a ceramic material and a flat rigid support (110) thereof made of a ceramic material, comprising the following steps: - realising an electric circuit (16, 18) on the membrane (100); - realising an electric contact with the outside on the support (110); - depositing an electrically conductive material on the support (110); - realising an electrical and mechanical coupling between the membrane (100) and the support (110); the electrical coupling between the membrane (100) and the support (110) being performed by deposition and sintering of at least one layer of an electrically conductive sinterable electrical connection material; the mechanical coupling between the membrane (100) and the support (110) being performed by deposition and sintering of at least one layer of sinterable mechanical connection material that is electrically insulating and/or isolated from the layer of sinterable electrical connection material; the layer of sinterable electrical connection material and the layer of sinterable mechanical connection material undergoing re flow together in a single step in a sintering furnace. L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur de pression (130) comprenant une membrane flexible plate (100) faite d'un matériau céramique et un support rigide plat (110) de celle-ci fait d'un matériau céramique, comprenant les étapes suivantes : - la réalisation d'un circuit électrique (16, 18) sur la membrane (100); - la réalisation d'un contact électrique avec l'extérieur du support (110); - le dépôt d'un matériau électroconducteur sur le support (110); - la réalisation d'un couplage électrique et mécanique entre la membrane (100) et le support (110); le couplage électrique entre la membrane (100) et le support (110) étant réalisé par dépôt et frittage d'au moins une couche d'un matériau de connexion électrique frittable électroconducteur; le couplage mécanique entre la membrane (100) et le support (110) étant réalisé par dépôt et frittage d'au moins une couche de matériau de connexion mécanique frittable qui est électriquement isolant et/ou isolé de la couche de matériau de connexion électrique frittable; la couche de matériau de connexion électrique frittable et la couche de matériau de connexion mécanique frittable subissant une refusion ensemble dans une étape unique dans un four de frittage.