CHARGED-PARTICLE-BEAM DEVICE, SPECIMEN-OBSERVATION SYSTEM, AND OPERATION PROGRAM

• Main Authors: ANDO TOHRU, NODA HIROYUKI, SATO MITSUGU, INADA TAKAHIRO, IIZUMI NORIKO, SHIGETO KUNJI, TAMOCHI RYUICHIRO, KONISHI YAYOI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 19.09.2013
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY

The present invention makes it possible to improve the skill of a novice user of a charged-particle-beam device, and is characterized by having: an image display device for displaying an operation screen (200) on which operation items for an electron microscope are displayed; a storage device for storing information pertaining to assist buttons (B122) displaying information pertaining to the state of an image (C51) obtained from the detector of the electron microscope, and storing the information according to the image quality of the image (C51), and according to observation conditions which are a combination of the parameter-setting values of the electron microscope; and an operation program for analyzing the image quality of the image obtained from the detector, obtaining the assist buttons (B122) from the storage device on the basis of the current observation conditions and the image quality of the image as the result of the analysis, and displaying the obtained assist buttons (B122) in a prescribed location of the operation screen (200). La présente invention permet d'améliorer les aptitudes d'un utilisateur novice d'un dispositif à faisceau de particules chargées, et est caractérisée en ce qu'elle comporte : un dispositif d'affichage d'image pour afficher un écran de fonctionnement (200) sur lequel des articles de fonctionnement pour un microscope électronique sont affichés; un dispositif de stockage pour stocker des informations concernant des boutons d'assistance (B122) qui affichent des informations concernant l'état d'une image (C51) obtenue à partir du détecteur du microscope électronique, et stocker les informations selon la qualité d'image de l'image (C51), et selon des conditions d'observation qui sont une association des valeurs de réglage de paramètre du microscope électronique; et un programme de fonctionnement pour analyser la qualité d'image de l'image obtenue à partir du détecteur, obtenir les boutons d'assistance (B122) à partir du dispositif de stockage en fonction des conditions d'observation actuelles et de la qualité d'image de l'image en conséquence de l'analyse, et afficher les boutons d'assistance obtenus (B122) dans un emplacement prescrit de l'écran de fonctionnement (200).