PURGING DEVICE AND PURGING METHOD FOR SUBSTRATE-CONTAINING VESSEL

• Main Authors: NANASAKI, GENICHI, AMEMIYA, SHIGEKI, KAISE, SEIICHI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 08.08.2013
• Subjects: ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS,e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES,DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; MACHINES, APPARATUS OR DEVICES FOR, OR METHODS OF, PACKAGINGARTICLES OR MATERIALS; PACKAGES; PACKAGING ELEMENTS; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; SEMICONDUCTOR DEVICES; STORING; TRANSPORTING; UNPACKING

This purging device has the following: a top nozzle that is provided above an opening in a substrate-containing vessel and supplies a drying gas diagonally downwards away from the substrate-containing vessel along the entire width of the opening; and a plurality of side nozzles that are provided to the left and right, respectively, of the opening in the substrate-containing vessel and supply drying gas from outside the opening towards the inside of the substrate-containing vessel. Each side nozzle is longer than the opening is tall, and a plurality of supply holes that supply the drying gas are formed in each side nozzle at prescribed vertical intervals. The supply holes formed in one side nozzle and the supply holes formed in the other side nozzle are staggered so as not to be at the same heights. La présente invention concerne un dispositif de purge comprenant : une buse supérieure qui est disposée au-dessus d'une ouverture dans une cuve contenant un substrat et qui fournit un gaz déshydratant en diagonale vers le bas à l'opposé de la cuve contenant un substrat le long de la totalité de la largeur de l'ouverture ; et une pluralité de buses latérales qui sont disposées à gauche et à droite, respectivement, de l'ouverture dans la cuve contenant un substrat et qui fournissent un gaz de déshydratation depuis l'extérieur de l'ouverture vers l'intérieur de la cuve contenant un substrat. Chaque buse latérale est plus longue que l'ouverture n'est haute, et une pluralité d'orifices d'alimentation qui fournissent le gaz de déshydratation est formée dans chaque buse latérale à des intervalles verticaux prescrits. Les orifices d'alimentation formés dans une buse latérale et les orifices d'alimentation formés dans une autre buse latérale sont disposés en quinconce de façon à ne pas être aux mêmes hauteurs.