THERMAL PLATE FOR ENVIRONMENT AND TEMPERATURE CONTROL OF MOTORS USED TO MOVE STAGES IN LITHOGRAPHY TOOLS

• Main Authors: PHARAND, MICHEL, KHO, LEONARD WAI FUNG, COON, DEREK, POON, ALEX KA TIM, BINNARD, MICHAEL B, MORIMOTO, SHIGERU, KESWANI, GAURAV
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 20.06.2013
• Subjects: CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER; DYNAMO-ELECTRIC MACHINES; ELECTRICITY; GENERATION

A lithography tool having a stage for supporting and positioning a substrate, an array configured to move the stage, and a cover plate positioned between the stage and the array. In various embodiments, the array may be either a magnet or coil array. The cover plate acts as a thermal insulator that helps even out temperature variations across the array. Consequently, thermal disturbances to the array or other parts of the lithography tool are reduced, resulting in a minimization of positioning errors. In addition, the cover plate also protects the array and provides a smooth surface in the event of a "crash" of the substrate stage. L'invention concerne un outil de lithographie ayant un étage permettant de supporter et de positionner un substrat, une matrice configurée pour déplacer l'étage, et une plaque de couverture positionnée entre l'étage et la matrice. Dans divers modes de réalisation, la matrice peut être une matrice soit d'aimants soit de bobines. La plaque de couverture sert d'isolant thermique qui aide à égaliser les variations de température à travers la matrice. Par conséquent, les perturbations thermiques dans la matrice ou d'autres parties de l'outil de lithographie sont réduites, ce qui résulte en une minimisation des erreurs de positionnement. De plus, la plaque de couverture protège aussi la matrice et produit une surface lisse dans le cas d'un « effondrement » de l'étage de substrat.