ROBOT SYSTEMS, APPARATUS, AND METHODS ADAPTED TO TRANSPORT DUAL SUBSTRATES IN ELECTRONIC DEVICE MANUFACTURING

• Main Authors: HUDGENS, JEFFREY C, KREMERMAN, IZYA, COX, DAMON KEITH
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 10.05.2013
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES; CONVEYING; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; HAND TOOLS; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL; MANIPULATORS; PACKING; PERFORMING OPERATIONS; PNEUMATIC TUBE CONVEYORS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; SEMICONDUCTOR DEVICES; SHOP CONVEYOR SYSTEMS; STORING; TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING ORTIPPING; TRANSPORTING

Substrate transport systems and robot apparatus are described. The systems are adapted to efficiently pick or place a substrate at a destination by independently rotating an upper arm, a forearm, and dual wrist members relative to each other and a base. Methods of operating the robot apparatus are provided, as are numerous other aspects. L'invention concerne des systèmes de transport de substrat et un appareil robotisé. Les systèmes sont conçus pour saisir ou placer efficacement un substrat à une certaine destination par la rotation indépendante d'un bras supérieur, d'un avant-bras et de deux éléments poignets les uns par rapport aux autres et par rapport à une base. Des procédés de fonctionnement de l'appareil robotisé sont décrits, tout comme de nombreux autres aspects.