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Summary:The present invention provides a plasma generation device (100) that not only increases the generation amount of active species, but also improves safety and is hardly affected by humidity changes. The plasma generation device (100) comprises: a plasma electrode unit (2) configured so that fluid circulation holes (21b, 22b) are provided at positions corresponding to each other in a pair of electrodes (21, 22) and pass therethrough; a power supply circuit unit (51) for applying voltage between the pair of electrodes (21, 22); and a circuit control unit (52) for controlling the power supply circuit unit (51). The power supply circuit unit (51) has a transformer (511) for boosting an input voltage and outputting the boosted voltage and a switching element (512) provided in a primary winding (511a) of the transformer (511) and shaping a voltage waveform across the primary winding (511a) into a pulse waveform. The circuit control unit (52) inputs an on/off signal to the switching element (512) and thereby adjusts the peak value and pulse width of the output voltage across a secondary winding (511b) of the transformer (511). La présente invention porte sur un dispositif de génération de plasma (100) qui non seulement augmente la quantité de génération d'espèces actives, mais en outre améliore la sécurité et n'est guère sensible à des variations d'humidité. Le dispositif de génération de plasma (100) comprend : une unité d'électrodes de plasma (2) configurée de telle manière que des trous de circulation de fluide (21b, 22b) sont placés à des positions qui se correspondent mutuellement dans une paire d'électrodes (21, 22) et passent à travers ; une unité de circuit d'alimentation électrique (51) pour appliquer une tension entre les deux électrodes (21, 22) ; et une unité de commande de circuit (52) pour commander l'unité de circuit d'alimentation électrique (51). L'unité de circuit d'alimentation électrique (51) comprend un transformateur (511) pour survolter une tension d'entrée et délivrer la tension survoltée et un élément de commutation (512) placé dans un enroulement primaire (511a) du transformateur (511) et mettant en forme une forme d'onde de tension aux bornes de l'enroulement primaire (511a) en une forme d'onde impulsionnelle. L'unité de commande de circuit (52) applique un signal de blocage/déblocage à l'élément de commutation (512) et ajuste ainsi la valeur de crête et la largeur d'impulsion de la tension de sortie aux bornes d'un enroulement secondaire (511b) du transformateur (511).
Bibliography:Application Number: WO2012JP76144