SHAPE MEASURING DEVICE AND SHAPE MEASURING METHOD

• Main Authors: UEHIRA, MASAYOSHI, TAKITANI, TOSHIYA, IDE, YOSHINORI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 11.04.2013
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

[Problem] To provide a shape measuring device that is capable of detecting, in a highly accurate manner, the relative position and orientation errors of an optical probe and stage, and measuring, in a highly accurate manner, the shape of a workpiece. [Solution] This shape measuring device comprises: a stage (10) having a mounting surface (11) upon which a workpiece (W) is mounted; an optical probe (20) for measuring the shape of the workpiece (W) mounted on the mounting surface (11), said optical probe having an orthogonal surface (21) that is orthogonal to an optical axis (L); a reference member (50) having a reference surface (51) that faces the mounting surface (11); first sensors (52, 53, 54) for detecting the slope of the mounting surface (11) relative to the reference surface (51), and the distance from the reference surface (51) to the mounting surface (11); and second sensors (55, 56, 57) for detecting the slope of the orthogonal surface (21) relative to the reference surface (51), and the distance from the reference surface (51) to the orthogonal surface (21). La présente invention concerne un dispositif de mesure de forme qui est capable de détecter très précisément la position relative et les erreurs d'orientation d'une sonde optique et d'une platine et de mesurer très précisément la forme d'une pièce à usiner. Le dispositif de mesure de forme comprend : une platine (10) possédant une surface de montage (11) sur laquelle une pièce à usiner (W) est montée ; une sonde optique (20) servant à mesurer la forme de la pièce à usiner (W) montée sur la surface de montage (11), ladite sonde optique possédant une surface orthogonale (21) qui est orthogonale à un axe optique (L) ; un élément de référence (50) possédant une surface de référence (51) se trouvant en face de la surface de montage (11) ; des premiers capteurs (52, 53, 54) servant à détecter la pente de la surface de montage (11) par rapport à la surface de référence (51) et la distance entre la surface de référence (51) et la surface de montage (11) ; et des seconds capteurs (55, 56, 57) servant à détecter la pente de la surface orthogonale (21) par rapport à la surface de référence (51) et la distance entre la surface de référence (51) et la surface orthogonale (21).