RADIATION SOURCE

• Main Authors: FRIJNS, OLAV, VANDERHALLEN, IVO, STAMM, UWE, VAN SCHOOT, JAN, SWINKELS, GERARDUS, KREUWEL, HERMANUS, BANINE, VADIM, MOORS, ROEL, YAKUNIN, ANDREI
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 28.03.2013
• Subjects: APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR; CINEMATOGRAPHY; ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; PHOTOGRAPHY; PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES,e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTORDEVICES; PHYSICS; X-RAY TECHNIQUE

A radiation source having a fuel stream generator (110) that generates and directs a fuel stream (102) along a trajectory towards a plasma formation location (104). A pre-pulse laser radiation assembly directs a first beam of laser radiation (100) at the fuel stream at the plasma formation location to generate a modified fuel target (106). A main pulse laser radiation assembly directs a second beam of laser radiation (108) at the modified fuel target at the plasma formation location to generate a radiation generating plasma (117). A collector (122) collects the radiation and directs it along an optical axis (105) of the radiation source. The first beam of laser radiation being directed toward the fuel stream substantially along the optical axis. La présente invention porte sur une source de rayonnement ayant un générateur de courant de combustible (110) qui génère et dirige un courant de combustible (102) le long d'une trajectoire vers une position de formation de plasma (104). Un ensemble de rayonnement laser à pré-impulsions dirige un premier faisceau de rayonnement laser (100) au courant de combustible à la position de formation de plasma pour générer une cible de combustible modifiée (106). Un ensemble de rayonnement laser à impulsions principal dirige un second faisceau de rayonnement laser (108) à la cible de combustible modifiée à la position de formation de plasma pour générer un plasma générant un rayonnement (117). Un collecteur (122) collecte le rayonnement et le dirige le long d'un axe optique (105) de la source de rayonnement. Le premier faisceau de rayonnement laser étant dirigé vers le courant de combustible sensiblement le long de l'axe optique.