ELASTIC WAVE DEVICE AND PRODUCTION METHOD THEREFOR

• Main Author: KANDO, HAJIME
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 07.03.2013
• Subjects: BASIC ELECTRONIC CIRCUITRY; ELECTRICITY; IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS

Provided is an elastic wave device: using a laminated structure having a piezoelectric film that has lithium tantalate as the main component thereof and a piezoelectric substrate that has lithium niobate as the main component thereof; and whereby the difference in linear expansion coefficients between the lithium tantalate and the lithium niobate can be reduced. The elastic wave device (1) comprises: the piezoelectric substrate (2) having lithium niobate as the main component thereof; the piezoelectric film (5) stacked directly or indirectly upon the piezoelectric substrate (2) and having lithium tantalate as the main component thereof; and electrodes (4, 6) formed on the upper surface and/or the lower surface of the piezoelectric film (5). The elastic wave device (1) has a Euler angle (f) between the lithium niobate and the lithium tantalate of 0° and is within a region (X) having ?LT and ?LN hatched in Fig. 5, when the Euler angle (?) of the lithium tantalate is ?LT, the Euler angle (?) of the lithium niobate is ?LN. L'invention concerne un dispositif à ondes élastiques qui utilise une structure stratifiée à film piézoélectrique dont le tantalate de lithium est le composant principal, et un substrat piézo-électrique dont le niobate de lithium est le composant principal, l'écart des coefficients de dilatation linéaire entre le tantalate de lithium et le niobate de lithium pouvant être réduit. Le dispositif à ondes élastiques (1) comprend: le substrat piézo-électrique (2) dont le niobate de lithium est le composant principal; le film piézoélectrique (5) empilé directement ou indirectement sur le substrat piézo-électrique (2) et dont le tantalate de lithium est le composant principal; et des électrodes (4, 6) ménagées sur la surface supérieure et/ou la surface inférieure du film piézoélectrique (5). Le dispositif à ondes élastiques (1) présente, entre le niobate de lithium et le tantalate de lithium, un angle d'Euler (f) de 0° situé dans une région (X) où ?LT et ?LN sont hachurés dans la figure 5, quand l'angle d'Euler (?) du tantalate de lithium est ?LT et l'angle d'Euler (?) du niobate de lithium est ?LN.