DETERMINING THIN FILM STACK FUNCTIONAL RELATIONSHIPS FOR MEASUREMENT OF CHEMICAL COMPOSITION

• Main Author: YGARTUA, CARLOS L
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 07.02.2013
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

A method for determining chemical composition from optical properties of a stack formed with a process, by preparing test samples of the stack using known and intentional variations to the process to affect a variation in the chemical composition, measuring the optical properties of the test samples, measuring the chemical composition of the test samples, performing a processor-based regression analysis to determine an optical state function including correlations between the optical properties of the test samples and the chemical composition of the test samples, fabricating production samples of the stack using the process, measuring the optical properties of the production samples, and estimating the chemical composition of the production samples using the optical state function. La présente invention concerne un procédé permettant de déterminer une composition chimique à partir des propriétés optiques d'un empilement résultant d'un processus d'empilement, en préparant des échantillons d'essai de l'empilement et en utilisant des variantes connues et intentionnelles du procédé afin d'entraîner une modification de la composition chimique, en mesurant les propriétés optiques des échantillons d'essai, en mesurant la composition chimique des échantillons d'essai, en réalisant une analyse de régression par voie informatique afin de déterminer une fonction de situation optique comprenant des corrélations entre les propriétés optiques des échantillons d'essai et leur composition chimique, en fabriquant des échantillons de production de l'empilement par ce procédé, en mesurant les propriétés optiques des échantillons de production et en estimant la composition chimique des échantillons de production au moyen de ladite fonction de situation optique.