METHOD FOR INSPECTING MINUTE DEFECT OF TRANSLUCENT BOARD-LIKE BODY, AND APPARATUS FOR INSPECTING MINUTE DEFECT OF TRANSLUCENT BOARD-LIKE BODY

• Main Authors: ARITA YUSUKE, KATO MUNEHISA, KANEKO SHIZUNORI
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 15.11.2012
• Subjects: INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIRCHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES; MEASURING; PHYSICS; TESTING

The present invention is a method for inspecting a minute defect present in a translucent board-like body, while transferring the translucent board-like body along a transfer path. The method for inspecting a minute defect of a transparent board-like body has: a preliminary inspection step, wherein the position of the minute defect is specified by irradiating the translucent board-like body with light and picking up an image of the main surface of the translucent board-like body by means of a preliminary image pickup unit, said minute defect being present in the surface direction of the main surface of the translucent board-like body; and a detail inspection step, wherein, corresponding to the minute defect position obtained in the preliminary inspection step, a main image pickup unit is moved in the direction, which is along the surface of the translucent board-like body and intersects the transfer direction of the translucent board-like body, and the image of the minute defect is picked up, while moving the main image pickup unit in the transfer direction in the state wherein the main image pickup unit is aligned with the minute defect. Le procédé de l'invention est destiné à inspecter de très petits défauts présents sur un corps en forme de plaque translucide au cours du transfert de ce dernier le long d'un trajet de transfert. Plus précisément, l'invention concerne un procédé d'inspection de très petits défauts sur corps en forme de plaque translucide qui inclut : une étape d'inspection préliminaire au cours de laquelle une surface principale dudit corps en forme de plaque translucide irradié par une lumière, est soumise à une capture d'image à l'aide d'une unité de capture d'image préliminaire, spécifiant ainsi la position desdits très petits défauts présents dans la direction faciale de la surface principale dudit corps en forme de plaque translucide; et une étape d'inspection en détail au cours de laquelle une unité de capture d'image principale est déplacée le long de la direction faciale dudit corps en forme de plaque translucide dans une direction croisant la direction de transfert dudit corps en forme de plaque translucide, en correspondance avec la position desdits très petits défauts obtenue au cours de ladite étape d'inspection préliminaire, et lesdits très petits défauts sont soumis à une capture d'image au cours du déplacement dans la direction de transfert et dans un état de position correspondante avec lesdits très petits défauts.