TUBULAR TARGET HAVING A PROTECTIVE DEVICE

• Main Authors: LINKE, CHRISTIAN, KATHREIN, MARTIN, SULIK, MANFRED
• Format: Patent
• Language: English; French; German
• Published: 11.10.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; CHEMISTRY; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATIONOR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY IONIMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; COATING METALLIC MATERIAL; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS; ELECTRICITY; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION INGENERAL; METALLURGY; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THESURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION

Die Erfindung betrifft ein trägerrohrloses Rohrtarget (1) für die Kathodenzerstäubung aus Molybdän oder einer Molybdänlegierung, das eine zumindest bereichsweise mit einem Kühlmedium in Kontakt stehende Innenoberfläche (3) aufweist, wobei zumindest ein Bereich der Innenoberfläche (3) durch zumindest eine Schutzvorrichtung (4) vom Kühlmedium getrennt ist. Die Schutzvorrichtung (4) kann beispielsweise als Polymerschicht ausgeführt sein. Die Rohrtargets (1) weisen eine ausgezeichnete Langzeitbeständigkeit auf. The invention relates to a tubular target (1) for sputtering without a supporting tube, the tubular target being made of molybdenum or a molybdenum alloy and having an inner surface (3) that is in contact with a cooling medium at least in some areas, wherein at least one area of the inner surface (3) is separated from the cooling medium by at least one protective device (4). The protective device (4) can be designed as a polymer layer, for example. The tubular targets (1) have excellent long-term durability. L'invention porte sur une cible tubulaire (1) dépourvue de tube support, pour la pulvérisation cathodique de molybdène ou d'un alliage de molybdène et présentant une surface interne (3) qui est en contact au moins par endroits avec un milieu de refroidissement, au moins une région de la surface interne (3) étant séparée du milieu de refroidissement par un dispositif de protection (4). Le dispositif de protection (4) peut être constitué, par exemple, par une couche de polymère. La cible tubulaire (1) présente une excellente tenue à long terme.