PROFILE MEASURING APPARATUS, METHOD FOR MEASURING PROFILE, AND METHOD FOR MANUFACTURING STRUCTURE

• Main Authors: YAMADA, TOMOAKI, TANEMURA, TAKASHI
• Format: Patent
• Language: English; French
• Published: 04.10.2012
• Subjects: MEASURING; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS; MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEARDIMENSIONS; PHYSICS; TESTING

A profile measuring apparatus is provided for accurately measuring a profile of a measuring object. A profile measuring apparatus includes: an irradiating unit which is configured to irradiate the measuring object with light from the light source to form a spotted pattern; a scanner which is configured to relatively scan the surface of the measuring object with the spotted pattern; a light receiver which includes a plurality of light-receiving pixels aligned to detect an image of the spotted pattern generated by the light irradiating the measuring object from a different direction different from an irradiation direction of the light irradiating the measuring object; a changing unit which is configured to change positions, at which signals utilized to detect a position of the image of the spotted pattern are obtained, according to the irradiation direction of the light; and a controller which is configured to calculate positional information of the measuring object based on the signals from the light-receiving pixels. La présente invention concerne un appareil de mesure de profil permettant de mesurer avec précision le profil d'un objet. L'appareil de mesure de profil comprend : une unité d'irradiation qui est conçue pour irradier l'objet soumis à la mesure avec une lumière pour former un motif de points ; un dispositif de balayage qui est conçu pour balayer de manière relative la surface de l'objet avec le motif de points ; un récepteur de lumière comprenant une pluralité de pixels récepteurs de lumière alignés de manière à détecter une image du motif de points générée par la lumière irradiant l'objet, à partir d'une direction différente de la direction d'irradiation de la lumière ; une unité de changement qui est conçu pour changer les positions, où les signaux utilisés pour détecter une position de l'image du motif de points sont obtenus, selon la direction d'irradiation de la lumière ; et un contrôleur qui est conçu pour calculer des informations de position de l'objet soumis à la mesure, sur la base des signaux provenant des pixels récepteurs de lumière.