ELECTRONIC DEVICE AND METHOD FOR MANUFACTURING SAME

• Main Author: TOYODA, OSAMU
• Format: Patent
• Language: English; French; Japanese
• Published: 04.10.2012
• Subjects: BASIC ELECTRIC ELEMENTS; CAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES ORLIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE; ELECTRIC SOLID STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; ELECTRICITY; MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICALDEVICES; MICROSTRUCTURAL TECHNOLOGY; PERFORMING OPERATIONS; PROCESSES OR APPARATUS SPECIALLY ADAPTED FOR THE MANUFACTUREOR TREATMENT OF MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS; SEMICONDUCTOR DEVICES; TRANSPORTING

[Problem] To suppress, in an electronic device and a method for manufacturing the electronic device, fluctuation of the electrical characteristics of the electronic device due to a change of ambient temperature. [Solution] This electronic device is provided with: an insulating substrate (31); an electrode (33) formed on the insulating substrate (31); and a movable upper electrode (34), which is provided above the electrode (33), is elastically deformable, and warps due to an electrostatic force generated from the electrode (33). The movable upper electrode includes a shape-memory alloy film (38). La présente invention cherche à supprimer dans un dispositif électronique, grâce à un procédé de fabrication approprié dudit dispositif électronique, les variations de caractéristiques électriques du dispositif électronique imputables à une variation de température ambiante. À cet effet, le dispositif électronique est doté: d'un substrat isolant (31); d'une électrode (33) réalisée sur le substrat isolant (31); et d'une électrode supérieure mobile (34), qui est réalisée au-dessus de l'électrode, qui est déformable élastiquement, et qui se gauchit sous l'effet d'une force électrostatique générée à partir de l'électrode (33). L'électrode supérieure mobile inclut un film en alliage à mémoire de forme (38).