STRESS RELIEF
A micromechanical device has a functional layer. One or more layers are provided between the functional layer and the micromechanical device to provide stress relief. Un dispositif micromécanique comprend une couche fonctionnelle. Une ou plusieurs couches sont fournies entre la couche fonctionnelle...
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Format | Patent |
Language | English French |
Published |
04.10.2012
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Summary: | A micromechanical device has a functional layer. One or more layers are provided between the functional layer and the micromechanical device to provide stress relief.
Un dispositif micromécanique comprend une couche fonctionnelle. Une ou plusieurs couches sont fournies entre la couche fonctionnelle et le dispositif micromécanique afin de permettre une réduction des contraintes. |
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Bibliography: | Application Number: WO2012GB50685 |